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興福電子新建4萬噸電子級硫酸產線品質取得新突破

  • 發表時間:2022-10-18
10月18日,湖北興福電子材料股份有限公司獲悉,該公司于今年二季度新投入試生產4萬噸電子級硫酸產線,截止目前,該產線已基本達產達效。產出的電子級硫酸產品的關鍵指標Fe、Cr、Ni等金屬離子小于5ppt,30nm顆粒度低于50pcs/mL,達到G5等級,品質達到國際先進水平,并且成功出貨供應國內主流芯片企業。

電子級硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸,是一種微電子技術發展過程中不可缺少的關鍵基礎化學試劑,廣泛應用于半導體、超大規模集成電路領域。高品質電子級硫酸制備的關鍵技術長期被美國、德國和日本等國家壟斷,我國長期依賴進口,隨著國內28nm及以下先進制程的量產,進一步加劇超高品質電子級硫酸短缺的局面,嚴重影響我國半導體產業健康發展。
興福電子自2017年第一套電子級硫酸生產線建成以來,圍繞電子級硫酸生產關鍵技術與應用領域,通過5年的工藝創新及技術攻關,已掌握超高純電子級硫酸制備和微納顆粒脫除等系列關鍵技術,可穩定生產供應G5等級的電子級硫酸產品。
據了解,此前,興福電子已在國內率先實現28nm及以下先進制程用超高純電子級硫酸批量生產,成功供應國內外知名半導體企業,打破了國際壟斷。4萬噸電子級硫酸產線正式投產后,興福電子將擁有 6萬噸/年電子級硫酸產能,成為目前國內產能規模最大的電子級硫酸生產企業。

此外,該公司還擁有電子級磷酸、功能性配方化學品等多品類濕電子化學品,其自主開發的電子級磷酸產品同樣打破了國際壟斷。據介紹,經過十余年的技術革新,目前公司電子級磷酸產品關鍵技術指標Fe等金屬離子達到3ppb以內,并成功應用于國際先進的芯片產線。據初步估算,該公司電子級磷酸產品國內市場占有率超60%,并大量出口海外客戶。與此同時,該公司的硅蝕刻液,金屬蝕刻液、BOE蝕刻液、以及清洗液等功能性配方化學品,產品品質達到國內領先水平,并且穩定供應國內外知名芯片企業。近年來,該公司致力于打造國際一流的芯片用電子化學品產業基地,持續加強電子化學品 核心技術的開發升級和產業化應用,已成長為國內濕電子化學品行業頭部企業。